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发布时间:2020-09-07 05:59:17
CT系列镀膜机
CT(Custamued workstation)系列镀膜机系我司非标定制产品,根据您的要求单独设计,满足您的特殊需要。
特点:1、按需开发,量身定制。
2、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
3、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选
4、可集成手套箱系统
5、可集成多种自动化应用
想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询!艾明坷竭诚为您服务!
蒸发镀膜
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法
涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。在玻璃上,镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃,这种工艺在汽车玻璃上有很好的应用。
此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
精度的提高,由于许多因素,但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。3,设备***和维修***1重要的是讲究“细心”,每一个人都力求做到“我办事,你放心”,也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑。
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