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发布时间:2020-09-05 04:37:42
CT系列镀膜机
CT(Custamued workstation)系列镀膜机系我司非标定制产品,根据您的要求单独设计,满足您的特殊需要。
特点:1、按需开发,量身定制。
2、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
3、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选
4、可集成手套箱系统
5、可集成多种自动化应用
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蒸发镀膜
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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真空镀膜技术的应用领域
在平板显示器中
所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜,而且,几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ITO膜,以满足透明电器的要求。可以毫不夸张的说,没有薄膜技术,就没有平板显示器件。
在太阳能利用方面
当需要有效地利用太阳热能时,就要考虑采用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所引起的损耗较小的吸收面。真空镀膜机的检漏方法真空镀膜机厂家查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是必不可少的。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20μm之间的红外波段。由于太阳辐射与热辐射光谱在波段上有差异,因此,为了有效地利用太阳热能,就必须考虑采用具有波长选择特性的吸收面。
理想的选择吸收面,是太阳辐射光谱的波段(可见光波段)吸收率(α)为1,在热辐射波段(红外波段)辐射率(ε)为0。
在防伪技术中
防伪膜种类很多,从使用方法可分为反射式和透射式;从膜系附着方式可以分为直接镀膜式、间接镀膜式或间接镀膜剪贴式。
在飞机防护涂层方面
飞机的钛合金紧固件,原来采用电镀方法镀镉。但在镀镉中含有氢,所以在飞行过程中,受到大气、海水的腐蚀,镀层上容易产生“镉脆”,甚至引起“空难”。
1964年,采用离子镀方法在钛合金紧固件上镀铝,解决了飞机零件的“镉脆”问题。在离子镀技术中,由于给工件施加负偏压,可以形成“伪扩散层”、细化膜层***,因此,可以显著提高膜层的耐腐蚀性能。
在光学仪器中
人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
在信息存储领域中
薄膜材料作为信息记录于存储介质,有其得天独厚的优势:
由于薄膜很薄,可以忽略涡流损耗;磁化反转极为迅速;与膜面平行的双稳态状态容易保持等。
为了更精密地记录与存储信息,必然要采用镀膜技术。
在传感器方面
在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,极为敏感的半导体材料。此外,其中,大多数利用的是半导体的表面、界面的性质,需要尽量增大其面积,且能工业化、***格制作,因此,采用薄膜的情况很多。
在集成电路制造中
晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、电极管线等,多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见,气相沉积是制备集成电路的核心技术之一。
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