半导体手套箱多重优惠

结构原理

手套箱结构原理

主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求，也可以根据需要进行设计制造。

主箱体上有两个（或两个以上）手套操作接口，分布在箱体的前边（或前后两边），这使得本操作箱能被一个（或几个）人同时操作，提高了箱体的使用效率。另外，在箱体的前面（或前后）都有观察窗，操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程，使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴，在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴，用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用（手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气）。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。设备的使用方法是否正确，调试期间箱体里面不能放过多的样品，如需放入，建议经过干燥处理。

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手套箱故障分析

一、水、氧含量过高

1. 设备的使用方法是否正确，调试期间箱体里面不能放过多的样品，如需放入，建议经过干燥处理；

2. 箱体的密闭性，包括大、小舱的使用以及手套是否在不正确的使用下造成漏气；

3. 温度对水含量有一定的影响，温度过高水含量下降较慢；

4. 活性炭的烘烤不彻底也会对水造成一定的影响；

5. 再生效果是否正常，***检查净化柱再生过程中的抽真空环节，抽真空要保持2小时以上。

二、氧含量循环时缓慢上升

1. 箱体到风机进气口之间有微量泄漏，通过分段保压法，排除问题；

2. 波纹管可能泄漏；

3. 接头可能泄漏；

4. 净化柱或溶剂柱可能泄漏。

手套箱操作前的工作

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）

4、检查设定里的上限压力应为 1，下限压力为0

5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）

6、过度舱真空泵应处于常开状态

手套箱常见故障及解决办法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱调试或误操作。

办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因：气源压力不足。

办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。

办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。