半导体手套箱值得信赖「在线咨询」

手套箱操作前的工作

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）

4、检查设定里的上限压力应为 1，下限压力为0

5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）

6、过度舱真空泵应处于常开状态

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手套箱常见故障及解决办法

1、循环和分析仪同时关掉

原因：①箱内压力瞬间过高，超过 12mbar，系统自动保护；②电压不稳，造成系统保护。

办法：①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常，半导体手套箱，箱体真空阀或补1气阀是否损坏，压力回复正常后，再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉，无法运行。

2、大、小仓无法补1气

原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞；②电磁阀是否没有打开。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②检查线路及电磁阀。

3、大小仓无法抽气

原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气；②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②关紧仓门，检查大小密封圈；③检查工作气压是否过低（因为大仓抽气阀是气动阀）。

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手套箱日常注意事项

1. 保证手套箱及气体净化系统内部环境的清洁，不能有液体、溶剂、粉尘等。

2. 手套箱的过滤器和有机1溶剂吸附器是保障系统正常工作的重要部件，应注意更换，禁止在系统无过滤器或有机1溶剂吸附器的情况下运行。

3. 水、氧及其他传感器在工作一定时间后会出现灵敏度降低或失灵的情况，这时需要将传感器交厂家或检验机构校正或更换。

4. 为保证手套箱正常运转，用户应制订操作者使用和***措施。

5. 在手套箱系统较长时间处于水氧含量较高或停机不使用时需要将传感仪从设备上取出并用专用的密封装置密封传感仪的探头，以防止传感仪失效。

6. 注意检查系统的管路和电路，及时地更换不安全的管道和电线。

7. 注意透明面板、过渡舱、管道接头的密封胶垫，如有损坏或变形请及时更换。

8. 在任何情况下请不要将工具、物品、文件放置在手套箱系统上。

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